机译:Ar / O_2 / CF_4等离子快速蚀刻模塑料并改进半导体封装拆封工艺
机译:CF4 / CH2F2 / N-2 / Ar电感耦合等离子体中SiC,SiO2和Si的刻蚀特性:CF4 / CH2F2混合比的影响
机译:低频CF4 / O2和NF3 / Ar等离子体中SiO2的各向异性刻蚀
机译:CF4 / O2,O2和O2 / AR等离子体中CVD金刚石的反应离子蚀刻
机译:低压等离子体中的辐射传输:照明和半导体蚀刻等离子体。
机译:CF4等离子体处理HfO2栅电介质的非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的电性能和可靠性提高
机译:Ar / O2 / CF4等离子快速蚀刻模塑料并改进半导体封装拆封工艺